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VM
가상계측 (Virtual Metrology)
제품 개요

반도체/FPD 제품 생산은 수 많은 제조 공정으로 이루어져 있으며 생산 시간 단축을 위해 대부분 샘플링계측을 진행하고 있습니다. 이로 인해 계측 데이터가 많이 부족하여 결함원인 분석 및 제품 품질 향상에 어려움이 있습니다.
VM (Virtual Metrology)은 제조 공정에서 발생하는 장비의 센서 데이터를 활용하여 계측 값을 예측하는 제품입니다. 가상계측에서 예측된 계측 값을 공정제어 시스템(APC)과 연동하여 제품의 품질 향상과 제조비용을 절감할 수 있습니다.
시스템 구성도

제품 특징 및 장점

Migration



정확하고 빠른 성능

모델 생성 및 검증

제조공정 특화 분석

자동 모델 생성

도입효과

장비 가동률 향상
- VM 활용을 통한 계측 감소
- VM 예측 결과 기반 계측 최적화

수율 향상
- VM 결과를 통한 fault 예측 가능
- APC, R2R 통계분석을 통한 품질향상

효율적인 공정 분석
- 데이터 증가로 인한 효율적 공정 분석
- Root Cause Analysis