VM

가상계측 (Virtual Metrology)

반도체/FPD 제품 생산은 수 많은 제조 공정으로 이루어져 있으며 생산 시간 단축을 위해 대부분 샘플링계측을 진행하고 있습니다. 이로 인해 계측 데이터가 많이 부족하여 결함원인 분석 및 제품 품질 향상에 어려움이 있습니다.

VM (Virtual Metrology)은 제조 공정에서 발생하는 장비의 센서 데이터를 활용하여 계측 값을 예측하는 제품입니다. 가상계측에서 예측된 계측 값을 공정제어 시스템(APC)과 연동하여 제품의 품질 향상과 제조비용을 절감할 수 있습니다.