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APC
자동 공정 제어 (Advanced Process Control)
제품 개요

스마트팩토리에서 공정제어는 제조 환경의 빠른 변화에 따라 그 중요성이 매우 높아지고 있으며, 자동화된 정보의 올바른 사용과 장비의 통합은 물론 SPC와 APC의 활용도 및 의존도 역시 점점 더 높아지고 있는 추세입니다.
이 중, APC는 반도체/FPD 산업에서 제품의 생산을 위한 공정 진행 시 최적화된 장비의 공정 진행 조건 (Recipe Parameter)을 찾아주는 솔루션 으로, 이전에 진행한 제품 (Wafer/Glass)의 공정 진행 결과 (계측 값) 를 참조 하여 이후 진행하는 제품의 공정 진행 조건을 변경해 주며 VM과 함께 사용할 시 더욱 뛰어난 공정 제어 효과를 얻을 수 있습니다.
시스템 구성도

제품 특징 및 장점


업데이트


(User Defined Controller) 제공

제어 모델

SPC & Database
도입효과

공정 변화 감지를 통한 외부 요인의 최소화
- 공정 엔지니어의 제어 업무 최소화
- 제어 모델 자동 보정으로 재작업 최소화

공정 수행 능력 향상
- 공정 제어 산포 감소
- Cp/cpk 등 공정 지표 향상

생산 수율 향상
- 계측 Sampling 감소
- Rework & Scrap 비율 감소