Products

NO MORE UNCERTAINTY

APC

자동 공정 제어 (Advanced Process Control)

제품 개요

APC

스마트팩토리에서 공정제어는 제조 환경의 빠른 변화에 따라 그 중요성이 매우 높아지고 있으며, 자동화된 정보의 올바른 사용과 장비의 통합은 물론 SPC와 APC의 활용도 및 의존도 역시 점점 더 높아지고 있는 추세입니다.

이 중, APC는 반도체/FPD 산업에서 제품의 생산을 위한 공정 진행 시 최적화된 장비의 공정 진행 조건 (Recipe Parameter)을 찾아주는 솔루션 으로, 이전에 진행한 제품 (Wafer/Glass)의 공정 진행 결과 (계측 값) 를 참조 하여 이후 진행하는 제품의 공정 진행 조건을 변경해 주며 VM과 함께 사용할 시 더욱 뛰어난 공정 제어 효과를 얻을 수 있습니다.

시스템 구성도

시스템 구성도

제품 특징 및 장점

신규 제어 변수 추출
신규 제어 변수 추출
자동 제어 모델 업데이트
자동 제어 모델
업데이트
Self Learning 모델
Self Learning 모델
UDC (User Defined Controller) 제공
UDC
(User Defined Controller) 제공
SISO, MISO and MIMO 제어 모델
SISO, MISO and MIMO
제어 모델
Embedded SPC & Database
Embedded
SPC & Database

도입효과

공정 변화 감지를 통한 외부 요인의 최소화

공정 변화 감지를 통한 외부 요인의 최소화

  • 공정 엔지니어의 제어 업무 최소화
  • 제어 모델 자동 보정으로 재작업 최소화
공정 수행 능력 향상

공정 수행 능력 향상

  • 공정 제어 산포 감소
  • Cp/cpk 등 공정 지표 향상
생산 수율 향상

생산 수율 향상

  • 계측 Sampling 감소
  • Rework & Scrap 비율 감소